ZP系列射频电源自动匹配装置：适用于采用高频单极激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。
　　
　　本产品的使用价值：
　　1、稳定生产工艺环境、提高产品质量。如对于太阳能电池生产等离子刻蚀工艺，可以防止过刻蚀及欠刻蚀：确保刻蚀的均匀性，提
　　高电池转换效率0.1％；防止过刻蚀提高硅片有效面积因而增大单位面积的有效功率1％；减少返工，降低硅片的破损损耗，提高硅片使
　　用率1％；
　　2、减少射频反射对周围设备仪表的影响，保证仪表的准确度；
　　3、减少射频电源反射对环境造成的不利影响，利于环保、实现国家对企业的环保要求；
　　4、减少射频反射对人身的伤害！
　　
　　主要技术参数：
　　网络类型：L型网络
　　射频功率：1KW
　　网络输入阻抗：标准50Ω
　　负载阻抗：调谐范围：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
　　工作频率：13.56MHz
　　手动／自动：可切换
　　射频电源输入接口：SL16-50KF
　　射频电源输出接口：L27-50KF
　　交流输入电源：220VAC±15％、50-60Hz、0.5A