主要用于在125mm×125mm或156mm×156mm太阳能硅片上淀积氮化硅减反射钝化膜。
　　产品特点：
　　◆送片方式：悬臂/软着陆（推荐）
　　◆进口射频电源、压力控制系统、进口干泵等。
　　◆进口数控钣金机床加工，整机结构合理，媲美进口同类设备。
　　◆全面满足用户的技术指标要求，突出产品的稳定性，一致性。
　　◆工控机自动控制系统，工艺过程参数显示、修改、记录等，操作更加直观便捷；
　　◆设备操作方便，模块化设计，使用及维护方便；
　　◆方便的温区调整方式（或自动温区调整）更加快捷；
　　◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命。

　　主要技术指标：
　　◆工艺片数：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
　　◆炉体口径：适应石英管外径φ400mm
　　◆工作温度范围：150〜500℃
　　◆恒温区长度及：1100mm/±1.5℃
　　◆悬臂式送料装置：50mm/min〜900mm/min连续可调
　　◆压力控制范围：100〜300Pa（闭环连续可调）
　　◆极限真空度：1Pa
　　◆反射膜均匀性：片内≤±4%，片间≤±4%，批间≤±5%
　　◆沉积均匀性：≤±5%
　　◆内置的Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度。