重复定位为±0.01mm／分辨率（小移动范围）0.01mm　
　　
　　移动速度800mm／sec。（X，Y轴）　
　　
　　可搬送重量主轴部7kg，桌面15kg　
　　
　　动作范围300×300mm　
　　
　　备有3次元直线、　圆弧插补控制　
　　
　　在海外亦可使用的通用电源型