XY编码器或叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。

概述

　　NG XY计量系统用于测量二维超精密平面位移，NG是一款可以避免湍流效应的基于栅格的XY的编码系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的，并且以一个更经济的价格、更实用和更新坚固的制造工艺来封装它。

应用领域

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高低成本的位置控制；

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实时校准；

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精密金刚石车削实验室；

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镜头自动对焦；

主要特点

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测量重复性为±20nm；

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低阿贝误差；

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对湍流和大气压强的变化不敏感；

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分辨率可选20nm；

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易于安装；

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栅格和探头之间的间隙为12mm；

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对准误差低；

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可选真空版本；

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完善技术支持，可定制；

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标准的A-quad-B 输出；

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低成本的超精密XY计量系统。

   


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