1.高精密样品自动位移平台，程序控制，轻松测量样品各个位置。
　　2.自动更换准直器滤光片，操作简单、方便。
　　3.149eV的高分辨率，更有效地提高了镉（CD）的测量。
　　4.外观更加美观大方，加大仪器内部空间，系统通风性更好，并有效屏蔽电磁干扰。
　　5.水冷型X光管配合光管保养程序，散热更好，并能有效延长X光管寿命。
　　6.无损检测，在无标准样品时亦可准确分析。
　　7.国际的数据分析方法，使测量结果更加。
　　8.测量时间短，不需要其他辅助材料。
　　9.高端商务计算机进行数据处理，分析快速准确。
　　10.高分辨率图形即时显示，由彩色模块加以区分判断。
　　11.三级冷却和双套高品质水冷系统，更适合长时间和高温区域使用。