冷凝器散热器氦质谱检漏设备
　　
　　检测：检测漏率
　　≤1×10-8mbar.l/s；
　　氦气充注模式：箱外充注；
　　氦气充注压力：30bar；
　　氦气回收率：≥98%。
　　该设备可以实现多工件充注，多工件检漏，多工件回收，提高工作效率。
　　氦气浓度在线分析，有效保证氦气浓度，避免由于氦气不稳定造成检漏不准确。