超纯水（I级水）产水水质*
　　电阻率 18.2MΩ ＆＃8226； cm＠25°C
　　TOC （未加装185/254nm UV灯） < 10ppb
　　TOC （加装185/254nm UV灯） < 5ppb
　　颗粒物 （粒径>0.22μm）** < 1/ml
　　微生物** < 1cfu/ml
　　内毒素*** < 0.001EU/ml
　　RNA酶*** < 0.003ng/ml
　　流速** > 0.5L/min （可达42L/hr）
　　Bisphenol A （双酚A）**** < 0.005ppb
　　Diethyl phthalate（DEP-邻苯二甲酸二乙酯）**** < 0.2ppb
　　Di-n-butyl Phtalate（DNBP）**** < 0.2ppb
　　Nonylphenol（NP）**** < 0.1ppb