FCS系列气体流量控制器是基于MCS51系列单片机配合外围器件，通过对三路或四路气体质量流量计的控制，实现镀镀机充气系统自动运行。本机可由用户编程设定，对反应气体随镀膜时间变化进行增减量控制。同时本机支持PS485或RS232通讯控制，支持开关量外部控制，也可连接上位机实现远程控制。
　　
　　名称：FCS330A
　　控制路数：3路
　　电源：AC220V-240V，50Hz
　　功率：80W
　　适配流量计：D07-7B（七星华创）；FC7700（美国AE）‘；汇博隆
　　流量范围：5-999SCCM
　　安装尺寸：面板480*120；机箱：440*120*330
　　自增功能：有
　　自减功能：无
　　外控接口：有