1　回旋翼型真空泵/CCP
　　•回旋翼型真空泵是小型、轻量、静音、紧凑型回旋翼干燥真空泵。
　　•构造简单，设置方便，节省空间。
　　•振动、脉动、噪音少，可直接安装在装置的基座面上，毋需麻烦的配管处理。
　　•根据排气量的不同有4种机型。

　　2旋转型真空泵/VTE
　　•小型干燥回旋翼型真空泵。
　　•结构紧凑，容易组装入机器，噪音超低。
　　•搭载软管接口和排气消音器。
　　•马达为德国制造DIN/VDE0530

　　3隔膜型真空泵/DA
　　•马达内藏型，采用嵌入式，小型轻量。
　　•排气速度、到达压力性能高，安全可靠。
　　•追加高效能强制冷方式、热保护，卸载真空阀等机能。

　　4隔膜型特氟纶真空泵/DTC
　　•接瓦斯部分全部使用PTFE材料。
　　•强耐腐蚀，适用于对有机物有腐蚀性的瓦斯。
　　•有净化作用，保持流体的纯度。
　　••压力可到达-101.3千帕。
　　•小型轻量、节能节省空间型，内藏热保护装置。