半导体膜厚测试仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中保证绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造保证了设备系统高可靠性。

半导体膜厚测试仪检测器。X射线检测器主要由光电倍增管和前置放大器组成。光电倍增管 的阴极加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电倍增管的阴极时产生电子，在阴极电压的作用下，倍增极把阴极的每个电子（假设每极放大n个电子）增加到d (d为倍增极数）个电子，即放大管电流，终到达阳极，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。

半导体膜厚测试仪应用范围
  *  测量镀层,涂层,薄膜,液体的厚度或组成,测量范围从17(Cl)到92(U);
  *  5 层 (4 镀层 + 基材) / 24 元素 / 共存元素校正;
  *  组成成分分析时可同时测定24种元素;
  *  镀液中元素含量分析;
  *  元素光谱定性分析;
  *  基材分析;
生产商及仪器型号：
制造商：美国BOWMAN公司
原产地：美国
型  号：BA 100