??主要特征：  *   桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定的基础，并运行时，振动对的影响小 *   柔性同步带系统，兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点，高加速度时定位，从而运动的平稳性*   陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高*   Z向采用了可调式气动平衡设计，了机器的动态性能，Z轴性*   标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差*   Y向采用整体式燕尾导轨，了机器的和重复性*   中心驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的，阿贝误差小*   机器框架采用花岗岩材料构成，厚重且稳定，显著了整机的刚性，并地减少了振动的影响*   采用HEXAGON高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB   规格型号与技术指标:

型号		Rumba686	Rumba8106	Rumba10128
行程（mm）	X轴	600	800	1000
	Y轴	800	1000	1200
	Z轴	600	600	800
空间尺寸（mm）	Dx	1036	1236	1436
平台（mm）	Ph	350	350	350
	Py	1800	2000	2200
支撑（mm）	Sx	740	870	1000
	Sy1	480	530	580
	Sy2	640	720	790
外形尺寸（mm）	Lx	1766	1976	2176
	Ly	2005	2205	2405
	Lz	3086	3086	3086
承重（kg）		400	400	600
机器重量（kg）		4276	4980	5637
MPEe（μm）		1.4+L/450	1.5+L/350	1.7+L/350
MPEp（μm）		1.8	1.8	1.8
光栅尺分辨率（μm）		0.039
空间移动速度（mm/s）		520
空间移动加速度(mm/s2)		1039
流量/供气压力		0.1m3min,>0.7MPa

注：工作环境为温度（20±1）℃, 湿度为25%-75%