大型常规配气装置
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其他说明

1规格八路气体控制装置
2可选流量规格5sccm~30slm
3控制准确度±1.5%F.S./路
4线性±(0.5~1.5)%F.S/路。
5重复±0.2%F.S.
6工作压差范围(0.2~0.4)MPa
7工作环境温度15℃~35℃
8电源~220V±10%50Hz
9控制方式电磁阀控制