ZS系列是本公司长青系列，自西元1995年底开机完成至今，己超过10年，亦是台湾台影像式量测显微镜，从机构设计、材料变更、加工方式创新、影像讯号向上提升、寻求更佳的照明方式，甚至因应客户需求，在2004年投入量测软体的研发。开发出一套功能完整，操作简单又人性化的量测软体。
　　
　　美国NAVITR镜头倍率是0.7~4.5X无段变焦，放大倍率可从28~180X.
　　X、Y平台的部品加工程序要求甚严，从多道粗加工到精加工均要求其每道加工的加工量，避免因加工量过大产生太高的加工温度而造成材料的热变形及内部的加工应力，因此可保持长久的寿命。另外，平台的X及Y轴各自为独立部品，所以平台其直角度是可调整的。本公司产品出厂时直角度要求在1um/100mm.
　　主体以花岗石为架构，各部重要尺寸均要求符合DIN00级规范，尤其主轴经力学设计不会产生前倾力偶，亦可保垂直度。
　　
　　X-Y轴移动范围（mm）：500×400
　　Z轴移动范围（mm）：130（V）/200
　　光学尺：RENISHAW 0.4um
　　线性：U1＝3＋（6L/1000）um U2＝4＋（6L/1000）um
　　基座＆主轴：花岗石符合DIN00级
　　主机重量：520 KG
　　主机尺寸L×W×H（mm）：1000×1000×1700
　　CCD CAMERA：日本SENTECH 41万Pixel
　　PROBE（两机一体）：VP：英国 RENISHAW MCP接触式测头
　　镜头：0.7-4.5X（28-180X）
　　表面照明（白光）：LED环形光（可16分割）
　　轮廓照明（白光）：LED
　　控制量测系统：MI2.5D/3D-CNC
　　驱动：摇杆＆CNC
　　控制方法：X-Y轴可快速移动，Z轴手动
　　电力供应：220/3KVA