配备真空腔和高性能真空泵，全自动真空控制系统，使真空测试过程更加智能化
　　镀层厚度测量至0.005微米
　　分析低含量的轻元素时，使用真空泵设备将空气抽出，使内部在真空状态下进行对轻元素的分析
　　
　　技术指标
　　※测量元素：从钠至铀等 75 种元素
　　※测量对象：粉末、固体、液体
　　※元素含量分析范围：1ppm-99.99％
　　※RoHS 指令规定的有害元素（限 Cd／Pb／Cr／Hg／Br）检出限达1ppm
　　※测量时间：60-200s
　　※能量分辨率为：140±5eV（德国产SDD探测器）
　　※测量：＜0.05％
　　※管压：5-50kV
　　※管流：50-1000uA
　　※温度适应范围：15-30℃
　　※相对湿度：≤70％
　　※仪器功率：≤200W
　　※工作电压：AC 110V／220V
　　※三维自由超大样品腔设计，样品腔尺寸Φ320×180mm
　　※可同时分析24个元素
　　※重量：75kg
　　
　　配置
　　X光管
　　放大电路
　　高低压电源
　　双激光定位系统
　　对被测样品可以放大100倍
　　清晰观测检测部位
　　计算机、喷墨打印机
　　硅针半导体探测器
　　高清晰摄像头，独特的光路增强系统
　　专用软件，操作界面十分友好。