尺寸：500x750x650mm
　　重量：80Kg
　　类型：自动
　　测量型号：≤12”
　　测量方法：无连接的
　　测量原理：反射计
　　
　　特征：
　　测量迅速，操作简单
　　非接触式，非破坏方式
　　的重复性和再现性
　　2D／3D映射和造型
　　自动机械活动控制
　　电荷耦合器件照相机
　　自动调焦
　　
　　活动范围：300mmx300mm
　　测量范围：100Å～35㎛（Dependson Film Type）
　　光斑尺寸：40㎛／20㎛，4㎛（option）
　　测量速度：1～2sec。／site（fitting time）