基本参数：

　　型号 Excel 1051 UM/UC Excel 1052 UM/UC Excel 1054 UM/UC

　　量测行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm

　　外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm1720 x 2000 x 1850mm1720 x 2000 x 2000mm

　　重量 2700kg 2750kg 2850kg

　　光学尺分辨率 0.1μm

　　XY ，E2 3.3＋L/300 3.6＋L/300 4.3＋L/200

　　Z ，E1 2.8＋L/100 3.3＋L/100 3.8＋L/100

　　镜头倍率光学，数字）36x（12x，3x）

　　表面光，轮廓光，同轴光光源红光LED（黑白系统）白光 LED（彩色系统）

　　放大倍率 15x-540x to 30x-1080x

　　电源系统 93-264 VAC，47-63 Hz

　　工作温度 20℃±2°

　　存放温度-25℃~60℃

　　工作湿度 30%-80%