1.搭载了75W高性能X射线管。

2.搭载标准的Φ50μm微小准直管（小Φ15μm）。

3.容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。

4.依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。

5.搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。

6.搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。

7.利用伺服马达的驱动平台。8.运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。