S48　300/HMT数字流量控制器技术指标
　　编号  项目  S48　300/HMT
　　1  流量规格  （10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min（1，2，3，5，10，20，30，50）L/min
　　2  调节阀类型  电磁调节阀
　　3  调节阀静止状态  常闭
　　4  安装角度  任意
　　5  流量控制范围  2%-100%F.S.
　　6  流量测量范围  0-100%F.S.
　　7  响应时间  ≤1　sec
　　8  工作环境温度  5-50℃
　　9  保证温度  15-35℃
　　10    ±1.0%S.P.（≥30%F.S.）；±0.30%F.S.（＜30%F.S.）
　　11  线性  ±0.5%F.S.
　　12  重复性  ±0.2%F.S.
　　13  工作压差  -5L/min（50-300）kPa（D）10L/min-30L/min（100-300）kPa（D）50L/min（150-300）kPa（D）
　　14  耐压  3MPa（G）
　　15  泄漏率  ＜1×10-8Pa·m3/s（He）
　　16  接触气体材料  316L，Viton？？氟橡胶，PTFE
　　17  管路接头  Swagelok：Φ6mm，Φ10mm，Φ1/4″；VCR：1/4″，3/8″
　　18  供电电源  ±15V（±5%），＋15V，150mA；－15V，200mA
　　19  设定信号  数字：RS485/RS232
　　模拟：0-＋5V，输入阻抗＞10kΩ
　　20  流量输出信号  数字：RS485/RS232
　　模拟：0-＋5V，负载能力≤3mA
　　21  通讯接口  数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，
　　Modbus　RTU　协议从机，设备号可选范围0-15
　　22  重量（kg）  0.9
　　
　　工作原理
　　数字式质量流量控制器由分流器通道，质量流量传感器，信号放大调理，信号采集，流量控制调节阀，驱动电路，CPU等部件组成。
　　本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal　Profile　Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。
　　将模拟电压设定值送入CPU或者将上位机发来的数字设定值从串口送入CPU，作为设定值，将传感器测得的流量信号放大送入CPU，作为CPU控制调节阀的反馈值。CPU实时将设定值和流量信号反馈值进行数字化处理，生成控制量，驱动调节阀逐步开启到相应的开度，直至流量值达到设定值。
　　分流器用于在主通道和毛细管间产生层流，使流过毛细管流量检测通道和流过主通道的气流成比例。
　　控制调节阀为比例电磁阀，随所加在电磁线圈上的电流大小而相应改变阀门开度。
　　S48-300/HMT　MFC可直接与计算机实现RS232/485连接，采用Modbus　RTU协议通讯。只需要用户提供±15V直流供电，无需A/D，D/A　转换卡等。
　　S48　300/HMT　MFC同时兼容模拟设定输入，模拟流量信号输出，其均为（0～5）V电压形式，与之配套的MT-51、50系列流量显示仪备有±15V直流电源供电，3位半数字流量值显示，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。