以下是INTEK IMS三次元Elite400C的具体参数：
　　型号 Elite400C
　　范围 400×300×150mm
　　测量准确度 2.5＋L/250（um）
　　测量准确度 3.0＋L/150（um）
　　分辨率 0.1um
　　光学可编程6：5：1光学放大24x-157x with1xObject Lens
　　照明 LED Coaxial Light/LED背光源
　　表面LED环形灯可编程LED3环形灯（标准）
　　线扫描激光器平整度激光扫描分析软件
　　同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器
　　接触式探针 RENISHAW接触式探针使用iTouch软件