本机使用触针式检出器，可做量测同时解析粗度与轮廓的机种。
　　Z轴量测范围±2.5mm、检出器的测定力为：0.75mN，测针并可以交换使用。
　　资料处理装置、电装部的通讯系统为RS-232C。
　　操作软体为Formtracepak，它结合了Formpak（轮廓）和Surfpak（粗度）两种软体。
　　驱动部的倾斜角度为±45°，可将工件做倾斜、对应倾斜姿势做量测。