DPS双面探针台
双面探针台主要适用于所测样品需双面点针的相关电学测试,DPS点针方式为(Up/Down)上下点针;
另外,我公司针对于双面探针台点针方式特研发LR系列产品(L/R)左右点针解决方案;
一、基本配置信息
1.探针台本体
*4"、6"、8"真空吸附卡盘
*滚珠螺杆驱动卡盘装置
*X,Y 行程:150mm(可根据需求选择其它范围)
*精密推拉装盘装置
*手动卡盘360度调整
*显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)
2.DC 探针座 Probe Head(可选其它或高频应用探针座)
*外型尺寸:70 x 50mm
*X,Y行程:12mm
*Z行程:8mm
*:1um
*仰角调节装置
*吸附方式:磁开关吸附(真空吸附可选)
3.高倍率显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)
*放大倍率 1X-500X
注:可选更高倍率物镜,如:100X物镜,即总倍率1000X
*光源光纤传导:1.5m
*卤素灯光源:100W或更高
*CCD C-mount国际标准接口
*目镜:WF10X/24,视场直径 24mm,独立矫正色差
*物镜:10X,20X,50X,100X
*双目头:瞳距调节范围55~75mm
*上主体:分光比为50:50或0:100
*管镜:1X NUV/VIS
*齐焦距离:95mm;
*调焦机构:调焦行程:52mm
*粗动手轮4mm/转
*微动手轮0.1mm/转
*微动手轮 1μm/格
*承载重量:45磅(20.4Kg)
4.CCD 相机
*包括图像采集卡等
5.探针夹具及电缆线(根据测试需求可选其它配置)
*Tube Holder/1.5m Triax cable/Triax male
6.探针 Probe Tip(可选项)
*1 um 探针
7.真空泵
8.屏蔽箱
9.防振桌
10.适配器
11.转接头
12.电学测试设备
二、探针座(Prober Head)选择,可选:直流、高频、微/大电流、高功率、高电压等…