光源：SPECTRO XEPOS采用端窗钯靶50W射线管。多可装8个偏振靶和次级靶，可设定各种不同的激发条件，以确保对从Na到U的元素进行测定。
　　光闸系统：可以确保在更换样品时无需关闭光管，从而提高了系统的稳定性。
　　
　　检测器：检测器采用目前先进的硅飘逸计数器。无论计数率如何变化，分辨率均保持一致。特别设计的准直器可显著改善信噪比。光谱分辨率小于160eV（以Mn ka线计）。计数率为120，000cps.在高计数率下仍有较高的分辨率，可缩短分析时间、提高分析准确度。
　　
　　样品室：SPECTRO XEPOS独特的分析性能不仅取决于它采用了功能强大的分析部件及先进的偏振技术，而且还取决于其精准的进样设计。德国斯派克分析仪器公司在开发SPECTRO XEPOS时就专门考虑到进样的问题。高样品交换器、新型样品盘的采用可大大减少机械和物力波动对测定的影响，改善分析结果。仪器配备样品旋转装置，可进一步改善测定不均匀样品以及表面不平整样品的分析结果。
　　
　　不间断电源：可以消除电源波动的影响，保证长期的稳定性和持久的X光管性能。
　　
　　软件：SPECTRO XEPOS软件提供了一个简单明了、使用简便的操作界面。选定方法，输入样品识别信息，即可进行测定。通过完备的引导程序，操作者只需通过5个简单步骤即可创建新的分析方法。采用基本参数法或采用专门的SPECTRO TurboQuant软件，即可轻而易举的完成未知样品的分析。SPECTRO XEPOS可搭载预制的应用软件包。该应用软件包括一套在出厂前就安装和校正好的硬件和分析方法。适用于分析RoHS，废渣，垃圾，油，水泥，炉渣等，SPECTRO XEPOS一机多用，是真正的多功能分析仪器。
　　
　　技术参数：
　　
　　1.功率50W，电压50KV，电流2mA
　　2.50W端窗Pd靶X光管
　　3.硅漂移计数器，分辨率小于170eV
　　4.3位置次级靶自动转换系统，即3束X激发光源。
　　5.可选真空、充气、常压系统
　　
　　主要特点：
　　
　　1.偏振X光激发样品，具有极低的背景，的灵敏度
　　2.真正意义的Na-U的全分析，无需滤光片。
　　3.分析的含量范围ppm级到100%
　　4.极为丰富的软件系统，提供各种方法及校正模式。
　　
　　SPECTRO XEPOS可广泛地应用于石油、化工、冶金、矿业、制药、食品、环保、地质、建材、废物处理以及再加工工业等。以油中各种元素的分析为例。使用SPECTO XEPOS，在氦气保护状态下，在300秒钟之内，对于P、S、Cl、Ca、Cu、Zn、Ba的检测下限在1-7µg/g以上。
　　
　　XEPOS型X射线荧光光谱仪可广泛应用于各种电子材料及塑料中铅、镉、（汞）等元素分析，检出下限低，灵敏度高、稳定性好，可应对欧洲WEEE、RoHS指令以及Sony STM-0083标准。