气体配比器
　　特点：高控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。
　　详细介绍
　　【性能参数】
　　气体传输：1-8种气体，Swagelok卡套连接
　　气体类型：空气、N2，O2，CO2，SO2等
　　进气压力：2--8bar
　　出口气体：1--8种
　　控制阀动作型式：常闭式
　　响应时间（sec）：1S
　　工作压差：0.05～0.5MPA
　　耐压：3MPA
　　出口压力：0--6bar
　　控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制，含温度及湿度休整补偿（由于密度和温度的关系很大，
　　为减少误差补偿）
　　流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30，200SLM
　　采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
　　可应用在5SCCM到200SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响
　　其他流速可选择，其他气体可选择
　　准确性：优于2%
　　保护：IP20
　　数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（1个大气压，0度）
　　标准状态规定为：
　　标准温度………………0℃（273.15K）
　　标准压强………………101325Pa控制显示方式：本地显示控制
　　特性：气体混气
　　2，工作要求
　　2.1气体混气仪器应满足以下工作环境要求：
　　工作电源：AC　185~265V，50Hz.
　　工作温度：0～45℃
　　相对湿度：≤90%
　　2.2进出口连接：
　　可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）与气源进行快速连接，并与采样灌进行快速连接
　　3.特性：
　　两元气体混和装置，利用多台高MFC精密控制气体混合比例，可以混出不同要求的气体比
　　气体混和不受起源压力变化的影响
　　全耐腐蚀设计，适应所有气体混合（常温无凝结）
　　调节优于＋-1%，混和优于2%