基础技术参数：
　　＊型号：FUNCTION 564
　　＊行程：X轴500mm、Y轴600mm、Z轴400mm  
　　＊结构型式：活动桥式
　　＊传动方式：直流伺服系统＋预载荷高空气轴承
　　＊长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
　　＊机台：高（00级）花岗岩平台
　　
　　＊使用环境：温度（20±2）℃，湿度55％-65％，温度梯度1℃／m，温度变化1℃／h
　　＊空气压力：0.4MPa-0.5Mpa
　　＊空气流量：120L／min–140L／min
　　＊整机尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
　　＊机台承重：500kg
　　＊整机重量：850Kg
　　＊空间测量：（2.80＋L／300）μm