用途：该仪器专门用硅单晶棒定向测量，与我公司生产的YX-5Z／6Z及多线切割设备配套使用，特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。
　　
　　结构：该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。
　　
　　计算软件采用国际通常算法，以度为单位，显示小0.001度，测量±0.008度（±30′），能够测量直径3～8英寸，长450㎜，测量晶面为111、100等。
　　
　　型号：YX-5D为双测角仪，一边定向计算，一边测片（8英寸）。
　　
　　YX-5DA为单测角仪，定向计算。
　　主要指标：
　　晶棒直径：3～8英寸
　　晶棒长度：450㎜
　　测量晶面：111、100
　　定向：0.008度（±30′）
　　小读数：0.001度
　　射线窗口：电磁脚踏光闸
　　计算角度：α与β（X与Y）