蓝宝石X射线晶体定向仪针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计，主要用于晶圆片、晶棒的测量。

　　YX-2D6通用型配置如下：（适用晶片、晶棒）

　　1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111，100，211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。

　　2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111，100，211等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸，400㎜长晶棒端面 111，100等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。

其他说明

X 射线管	铜靶,阳极接地,强迫风冷
管电压	30KVP,全压合闸
管电流	0-5mA,连续可调
整机功率	交流220V  不大于0.3KW
综合	±30″
角度数字显示	以度,分,秒显示,小读数10″
计数器旋转角度	2θ角-10°------+110°
样品晶体旋转角度	θ角-10°------+55°
计数管	盖革计数管,工作电压500-----1100V
时间常数	分0.1,0.4,3秒三档可调
保    护	高压连锁保护,温度保护
狭    缝	4′,5′,6′
可测晶体重量	重30KG的晶棒
可测晶体直径GA	Φ2-------Φ6 英寸晶圆片
可测晶棒长度GC	Φ2-------Φ6 英寸 ,400 毫米长晶棒
工作位	双测角仪,双工作台
外型尺寸	1140mm*650mm*1030mm
仪器重量	200KG