供应质量流量传感器,质量流量计
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HT2000系列空气质量流量传感器,该产品芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热,热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征赛贝克效应。

应用领域              

       暖通空调和汽车工业上的质量流量

       医用呼吸器和通风器

       气体分析仪

       气体标定

性能

       对低速和微差压十分敏感

       没有输出信号的偏移和偏移漂移

       反应速度快(小于10ms

  耐腐蚀性气体,耐磨擦

       耐振动,耐高压(15个以上大气压)        

       信号处理电路简单

独特优势

       热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高,不受干扰的优点外,还不像二极管和三极管测温,需要外加偏压,因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移,使测量变得简单。

       独到的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动,耐高压,耐腐蚀,耐流体中颗粒的冲撞和磨损。

       适用于气体流体。

性能参数

流量范围(刻度)

 

1000

 

sccm

零点漂移

 

±0.1

 

mv

输出电压漂移

 

±1

 

%F.S

重复性&迟滞

 

1

 

%F.S

加热电流

6,恒电流

mA

加热功率

95,恒功率

mW

加热电阻

2570

2690

2810

ohm

零点温漂

 

0.8

 

%FS

参考电阻温度系数

 

-578

 

Ppm/

上游热偶堆输出(空气,25℃)

149

165

171

mV

下游热偶堆输出(空气,25℃)

149

165

171

mV

工作温度

-10

 

80

反应时间

 

ms

  

15217

Bar(psi)

        

接线

 

1.   Gnd       2.信号输出:S+   3.恒流源:6mA     4.信号输出:S-

 

HT2000系列气体质量流量传感器正向气流方向被定义为从P2孔流向P1孔,并导致正的输出,不要施加超过10psi的力在2个测量空孔的每个方向上。

          

独特优势

 

       热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高,不受干扰的优点外,还不像二极管和三极管测温,需要外加偏压,因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移,使测量变得简单。

 

       独到的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动,耐高压,耐腐蚀,耐流体中颗粒的冲撞和磨损。

 

       适用于气体流体。

 

性能参数

 

流量范围(刻度)

 

1000

 

sccm

零点漂移

 

±0.1

 

mv

输出电压漂移

 

±1

 

%F.S

重复性&迟滞

 

1

 

%F.S

加热电流

6,恒电流

mA

加热功率

95,恒功率

mW

加热电阻

2570

2690

2810

ohm

零点温漂

 

0.8

 

%FS

参考电阻温度系数

 

-578

 

Ppm/

上游热偶堆输出(空气,25℃)

149

165

171

mV

下游热偶堆输出(空气,25℃)

149

165

171

mV

工作温度

-10

 

80

反应时间

 

ms

  

15217

Bar(psi)

        

 

接线

 

 

 

1.   Gnd       2.信号输出:S+   3.恒流源:6mA     4.信号输出:S-

 

 

 

HT2000系列气体质量流量传感器正向气流方向被定义为从P2孔流向P1孔,并导致正的输出,不要施加超过10psi的力在2个测量空孔的每个方向上。