| 機台特點: |
- 支援多測頭功能，可同時使用接觸式測頭，光學及雷射測頭，三機一體的設計是
的投資選擇。
- 高氣浮式空氣軸承設計 ( AIR BEARING )，永不磨耗。
- 三軸花崗岩材質設計，並採用高穩定性、高強度之 L 型橋式結構。
- 提供完整的軟硬體選購配備，並可針對特殊需求專案開發。
- 自動量測，可快速、精確量測大量相同工件。
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| 規格 | | 型號 | IS654 | IS864 | IS1086 | | 量測行程 | 500 X 600 X 400 mm
( X ,Y , Z ) | 600 X 800 X 400 mm
( X ,Y , Z ) | 800 X 1000 X 600 mm
( X ,Y , Z ) | | 量測 | U1=3 + L / 250 um | U1=3.5 + L / 250 um | U1=4 + L / 250 um | | 光學尺解析度 | 0.5 um | | 環境 | 溼度：40%~70%; 溫度：18℃~22℃ | | 驅動方式 | Air Bearing on all Axes | | 速度 | 300 mm / sec | | 加速度 | 500 mm / sec2 | | 外觀尺寸 | 1100 X 1360 X 2400 mm
( L ,W , H ) | 1350 X 1450 X 2400 mm
( L ,W , H ) | 1700 X 1650 X 2800 mm
( L ,W , H ) | | 工件限重 | 300 kg | 400 kg | | 機台重量 | 860 kg | 1300 kg | 2500 kg |
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| 規格 | | 型號 | IS121006 | IS151206 | | 量測行程 | 1000 X 1200 X 600 mm
( X ,Y , Z ) | 1200 X 1500 X 600 mm
( X ,Y , Z ) | | 量測 | U1=5 + L / 250 um | | 光學尺解析度 | 0.5 um | | 環境 | 溼度：40%~70%; 溫度：18℃~22℃ | | 驅動方式 | Air Bearing on all Axes | | 速度 | 300 mm / sec | | 加速度 | 500 mm / sec2 | | 外觀尺寸 | 1100 X 1360 X 2400 mm ( L ,W , H ) | 1350 X 1450 X 2400 mm ( L ,W , H ) | | 工件限重 | 500 kg | 600 kg | | 機台重量 | 3500 kg | 5500 kg |
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| | | | | | | | MCP | | PH10T | | RTP20 | | MSU3D-PRO | |
| 必選配備 | | 電子測頭 | MCP | PH10T | RTP20 | | 光學尺解析度 | 0.5 um | 1 um | | 量測軟體 | MSU3D-PRO |
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| | 電動鏡頭 | | 段式 /
ZOOM 鏡頭 | | CCD Camera | | LED
光源控制器 | | 電動旋轉台 | | 雷射測頭 | | 測針座 | |
| 選購配備 | | 鏡頭 | 電動鏡頭 | 段式鏡頭 | ZOOM式鏡頭 | | CCD Camera | 1/2" chip | 1/3" chip | | LED環形光源 | 單段式 | 四段式 | | LED光源控制器 | 2通道
( 可程式控制 ) | 6通道
( 可程式控制 ) | | 雷射測頭 | 詳細資料 | | 電動旋轉台 | 詳細資料 | | 測針座 | 3 Port Rack | 6 Port Rack | | 支援軟體 | LOOP、EDIT、WINQC、3D-VIEW | 設備管理:PLANE |
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