日本三丰 仪器轮廓测量仪
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技术参数
  X轴
    测量范围  100mm或200mm
    分辨率  0.05μm
    检测方法  线性编码器
    驱动速度  0-80mm/s外加手动
    测量速度  0.02-5mm/s
    测量方向  向前/向后
    直线度  0.8μm/100inch,2μm/200mm;以X轴为水平方向上
    指示(20°C时):  ±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
  ±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
  ±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
  ±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S4,H8,W8)
  *L=驱动长度(mm)
    倾斜范围  ±45°
  Z1轴(立柱,仅用于CV-2000)
    垂直移动:  300mm或500mm
    分辨率  1μm
    检测方法  ABSOLUTE线性编码器
    驱动速度  0-20mm/s外加手动
  Z1轴(检测器)
    测量范围  ±25mm
    分辨率  0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)
    检测方法  线性编码器(CV-3100),激光全息测微机(CV-4100)
    指示(20°C时):  ±(2+|4H|/100)μm(CV-3100)
  ±(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4100)
  *H为水平位置上的测量高度(mm)
    测针上/下运作  弧形运动
    测针方向  向下
    测力  30mN
    跟踪角度  向上:77°,向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
  测针针尖  半径:25μm,硬质合金针尖
  基座尺寸(WxH)  600x450mm或1000x450mm
  基座材料  花岗岩
  重量  5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4)
    主机  140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4),140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8)
    控制装置  14kg
    遥控箱  0.9kg
  电源  100-240VAC±10%,50/60HZ
  电源  400W(仅限主机)