特点
• 大幅度提高了驱动速度(X 轴：80mm/s, Z2
轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。
• 为了在一定时段内维持仪器的直线度规
格，三丰公司采用了具有的耐摩擦
性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
• 大量的外周设备选件支持CNC 模式，从
而可以很容易实现CNC 测量。
• 驱动装置(X 轴) 和立柱(Z2 轴) 中集成了高
线性编码器(Z2 轴为ABS 型)，从而提
高了在垂直方向持续自动测量小孔和不
易定位工件的重复。
• X 轴：±(0.8+0.01L)µm,
Z1 轴：±(0.8+|0.5H|/25)µm*，针对高精
度工件的测量所设计。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 为驱动长度，H 为测量高度(mm)
• CV-4100 系列的驱动装置集成了激光全息
测微计检测器，在Z 轴(垂直方向) 的窄／
宽测量范围内，提供卓越的和分辨
率。

技术参数
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05µm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 80mm/s 和手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 0.8µm/100mm, 2µm/200mm
* 当X 轴在水平方向上
指示: ±(1+0.01L)µm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C 时) ±(0.8+0.01L)µm (CV-4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)µm (CV-3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)µm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45°

Z2 轴(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1µm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 和手动

Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2µm (CV-3100), 0.05µm (CV-4100)
检测方法: 线性编码器(CV-3100),
激光全息测微计 (CV-4100)
指示: ±(2+I4HI/100)µm (CV-3100)
(20° C 时) ±(0.8+I2HI/100)µm (CV-4100)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上：77°、向下： 87°
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖 半径: 25µm、硬质合金针尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
　控制装置:14kg
　遥控箱: 0.9kg
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (仅限主机)