分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) | 1.0nm (30kV), 1.2nm(15kV), 2.0nm (3kV) / | 工作真空 高真空模式 低真空模式 枪体真空 | <9×10-3Pa / <3×10-7Pa | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 | 放大倍率 | 2×-1,000,000×连续可调 | 加速电压 | 200V至30kV(选配50V至30kV) | 电子枪 | 高亮度肖特基 | 探针电流 | 2pA至200nA | 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调 | 聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 | 扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 | 图象尺寸 | 可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 | 显微镜控制 | 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。 | 自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,优化束斑大小和探针电流,优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。 | 远程控制 | TCP/IP |
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