分辨率 高真空(二次电子) 低真空(BSE,LVSTD) | 3nm(30kV),8nm(3kV) / 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 3.5nm(30kV) / 选配 六硼化镧 2.5(30kV) |
工作真空 高真空 低真空 | <9×10-3Pa 3-500Pa(可选配2000Pa) |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 2x-1,000,000x |
加速电压 | 200V至30KV |
电子枪 | 钨灯丝/六硼化镧 |
探针电流 | 1pA至2μA |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 | 可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 | 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 | 实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整 |
远程控制 | 通过TCP/IP |