光学隔振平台

隔振性能，用于存在高动态力，进行灵敏度测量和检验的设备，如平版印刷设备、激光设备、高分辨率电子显微镜、半导体设备。

POT型光学平台技术参数：

★   台面采用济南青OO级

★   平面度≤0.05㎜/㎡

★   表面粗糙度不大于0.8μm

★   固有频率10Hz

★   采用（四）支撑基础，表面喷汽车油漆并有连接杆

★   调平方式：机械

ZDT型自动平衡精密隔振光学平台技术参数：

★   台面采用济南青OO级

★   平台所有气动元件都采用德国FESTO产品

★   平面度≤0.05㎜/㎡

★   表面粗糙度不大于0.8μm

★   固有频率1～2Hz

★   采用（四）支撑基础，表面喷汽车油漆并有连接杆

★   振幅小于1.0μm

★   调平方式：自动

★   充气方式：自动