1． 型号规格：FLY 654

2． 主要技术指标：

2.1测量范围：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm

2.2空间测量示值误差：E≤2.7+L/250µm

2.3探测误差：R≤2.8µm

2.4分辨率：0.5µm

2.5运动速度：300mm/s

2.6承受重量：500kg

2.7仪器重量：650kg

2.8外型尺寸：1500mm×1250mm×2500mm

2.9环境要求：

l 温度范围：20±2℃，0.5℃/h

l 气源压力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min(0.4MPa)

l 湿度范围：45%-65%

l 电源： 220V±10% ，50Hz

l 功率：1200瓦

地面振动：频率范围：0～6Hz，   6～50Hz，   ＞50Hz