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2CH静電電位監視装置（KSD-0120）

能用1台控制器连接2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。
因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。
因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。

KSD-0120的规格

 用途
监视平面显示器生产工序中的带电量。
监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。
监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。

 

構成

 

品目形式備考本体取付金具センサ専用ACアダプタ

KSD-0120
	本体に付属
KS-2100	オプション、2台迄使用可能
KSD-0120用ACアダプタ	オプション

 

 

 

仕様

 

本体

 

型式表示範囲アナログ出力制御設定制御出力電源消費電流環境質量

KSD-0120

レンジ(1)　±1～±1999V レンジ(2)　±0.01～±19.99kV

0～±5V

2チャンネル独立設定

オープンコレクタ（制御設定出力及びセンサ故障出力）

DC12～24Vまたは 専用ACアダプタ（AC100V／オプション）

500mA（DC12～24V）

温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと）

約580g（取付金具含む）

 

 

 

専用ACアダプタ（オプション）

 

型式入力電圧出力電圧ケーブル長質量

KSD-0120用ACアダプタ

AC100V　50／60Hz

DC12V

1580mm

約385g

 

 

 

センサ（オプション）

 

型式検出方式測定範囲アナログ出力測定測定基準距離警報電源環境質量付属品

KS-2100

振動型表面電位センサ

レンジ(1)　±1～±2000V レンジ(2)　±0.01～±20.00kV

0～±5V

±10％以内

レンジ(1)　10mm レンジ(2)　50mm

検出センサ故障LED表示、外部出力

KSD-0120より供給

温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと）

約100g（ケーブル含まず）

専用ケーブル5m（100m迄延長可能）

 

 

 

寸法?各部の名称　（寸法単位［mm］）

 

本体

 

 

センサ

 

 

 

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