KOSAKA LAB ET 4000A

微细形状测定机（探针接触式台阶仪）

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

特点：

l  的台阶再现性与线性度。

l  超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量保证真直度的前提下长距离量测。

l  采用超低噪音直动式LVDT，超低测定力的触针可任意调节。

l  配备高分辨率的CCD即时进行高定位测量。

l  可对应各种国际规范，测定参数多达60多种。

l  适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。

技术参数：

一、测定工件：

 1.工件尺寸 210mm×210mm

 2. 工件厚度  50mm

 3. 工件重量   2kg

二、检出器（pickup）：

  1. Z方向测定范围   Max. 100μm

  2. Z方向分解能   0.1nm

  3. 测定力   min. 0.05mgf,max.50mg0.5uN ~500Un(0.05mgf~50mgf)

  4. 触针半径   0.5, 2 μm

  5. 驱动方式  直动式

三、X 轴 (基准轴)：

  1. 移动量(测长)   100mm

  2. 移动的真直度   0.005μm/5mm

  3. 测定速度   0.005 ~ 2mm/S

  4. 位置定位时速度  Max. 10mm/S

  5. 线性尺(linar scale)   分解能 0.01μm

  6. 位置定位再现性    ±5μm

  7. 滑轨   材质为在铸铁(CD-5)上,镀上硬质Cr,

无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料)

  8. 驱动   DC motor + Dynamic belt

四、Y轴(位置决定用)：

  1. 移动量   52mm

  2. 移动速度    max.3mm/S

  3. 滑轨   Crose roller滑轨

  4. 驱动   DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm)

  5. 检出器自动停止机能

六、工件台：

  1. 工件台尺寸   220mm×220mm

  2. 自动倾斜量    X: ± 1mm/150mm    Y: ± 1mm/150mm

  3. 分解能   0.25μm

  4. 驱动   pulse motor

七、全自动量测功能

八、工件观察      max.80 倍(可选购其它高倍率CCD)

九、床台     材质为花岗岩石

十、段差测定再现性   1δ,    5A°以内

十一、防振台(选购)    落地型或桌上型

十二、电源    AC100V±10%,50/60HZ,800VA

十三、本体外观尺寸   W660×D580×H660mm(不含防震台)

十四、本体重量    约200Kg(不含防震台)