辛耘科技致力于高端清洗蚀刻设备的研发和生产  拥有强大的研发与软件编写团队 实现完全自主的软硬件售后服务和升级 程度地解决了客户的后顾之优  产品涵盖2”~12”主流湿法工艺以及薄片、大功率器件、高温制程、电镀 、化镀 、等特殊应用、广泛应用于半导体、三五族、微机电、和LED领域
 
仪器简介：

• 2”~12” 手动/半自动/全自动湿制程设备及干燥机

传送技术: Cassette type / Boat type / Cassette-less

领域 : 半导体前后段 / LED / 蓝宝石/薄片/ GaAs / MEMS…

制程 : lean/Etching/PRStrip/Solvent/Developer/Reclaim/Plating /High-temp/De-wax/CDU

 
特点:

• 高稳定性与高可靠度

自有的软硬件设计及完善QC系统

可提供客制化与量产设计

可灵活实现 手动 半自动 全自动及干进干出 功能

多种可选择的晶圆传递方式(cassette /cassetteless /both type)

友好的人机操作界面

完整的全自动生产（包括SMIF、晶圆传递、晶圆盒的自动传递）

完善的客服系统

可提供cassetteless传输的local厂家

应用领域：

• 半导体/三五族/微机电：

4”-12” 相关清洗、显影、蚀刻等制程

LED :

蓝宝石基板清洗工艺（切割、研磨、抛光段应用、PSS图形化衬底应用）前后端工序中的清洗、显影、蚀刻、去胶、高温磷酸（侧腐蚀工艺）、化镀金工艺等湿法应用