铭动MD-PS001扩散硅压力传感器芯片
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产品品牌:
铭动
产品型号:
MD-PS001
压力测量范围:
0.7 mPa
类型:
扩散硅压力变送器

MD-PS001 压力传感器采用硅微机械加工技术制造。采用各向异性腐蚀技术和硅硅直接键合技术在硅片内部形成一个长期稳定的真空基准压力参考腔,在表面硅膜上用集成技术制作成惠斯顿应变全桥,采用国际先进的MEMS技术生产的1×1mm的硅压阻传感器芯片,从而在受力时输出与压力成线性关系的电压信号。
 

应用领域:

  
汽 车:TPMS,胎压,诊断仪,气泵,蒸汽和悬置机构控制,绝压传感器。

    工 业:空气压力控制,电缆泄漏检测,便携式压力计,压力开关和控制器。

    消费品:手持胎压计,高度计和气压测定仪。

    医 疗:病人监控和诊断设备,血压计。

    科 研:空气动力学用微型绝压传感器及通用绝压传感器
 

特 征:

  
固态元件,三维集成MEMS工艺制造,可靠性高。

    无应力设计与制造,严格自补偿浓度控制,稳定性好。

    标准压力范围: 0~100kpa, 0~200kpa, 0~700kpa,0~1700kpa,0~ 3400kpa。

    微型尺寸1mm×1mm×0.5mm压阻传感技术,硅/硅键合芯片,稳定性好。

    使用方便,适合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑胶微电子封装。

    所有晶片都是以保护性的塑料容器运输。晶片被粘在塑料盘上,所有晶片被电子探头和视觉检查。

技术参数:



    小值 典型值 单位 备注
压力特性
压力量程 100KPa  200KPa  350KPa  700KPa   1700KPa   3500KPa
      15PSI   30PSI    50PSI   100PSI    250PSI    500PSI
压力 2倍
破坏压力 4倍
电气性能
激励电压   3 5.0 12 V  
激励电流     1 3 mA  
输入阻抗   4 5 6  
输出阻抗   4 5 6  
输出范围
(FS范围)
150KPa 60  80 100 mV  
700KPa 70 100 150 mV  
1700KPa 80 120 180 mV  
零位输出   -25   25 mV  
性能指标
满度温度系数   -0.24 -0.19 -0.15 %FS/℃ 恒压供电
零位温度系数   -0.07   0.07 %FS/℃  
电阻温度系数   0.24 0.27 0.33 % /℃  
线性度   -0.25 0.15 +0.25 %FS  
迟滞和重复性     ±0.10         %FSO  
长期稳定性             ±0.20   %FSO  
工作温度   -40   +125  
存储温度   -55   +150  
兼容介质 洁净、干燥、无腐蚀性气体
  1、所有测试值相对22℃ 1mA恒流供电
2、在0-70℃,温度系数为典型值。