UB5000硅片检测显微镜UB5000硅片检测显微镜
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大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
技术规格 | |
观察头 | 30°铰链式三目(50mm-75mm) |
目镜 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板 | |
转换器 | 带DIC插孔明暗场五孔转换器 |
物镜 | 平场无限远长工作 距离明暗场物镜:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
平台 | 双层移动平台 |
平台尺寸: 350mm×310mm | |
移动范围:250mm×250mm | |
滤色片 | 插板式滤色片(绿、蓝、中性) |
调焦 | 粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm |
光源 | 落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节 |
偏光装置 | 检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路 |
检测工具 | 0.01mm测微尺 |
可供附件 | 目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
300万、500万、900万、1400万像素CMOS芯片数字摄像头 | |
平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二维测量软件 | |
金相图像分析软件 | |
DIC(10×、20×、40×、100×) | |
摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
压平机 | |
彩色CCD 芯片 300万,500万,800万像素摄像头 |