德国微振动检测激光干涉仪ZLM900
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产品品牌:
德国
产品型号:
ZLM900

 
激光干涉仪ZLM 900-3D
 
PXI数据处理器激光干涉仪ZLM900-3D
 
光学镜头ZLM 900-3D
 

世界范围内,同类产品中效率的干涉仪。

  • 三轴外差式微振动检测激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量
  • 高灵活性调整模块,适用于所有数控机床的参数的测量
  • 动态测量速度4m/s,实时显示三个轴的测量数据
  • 小型反射镜,带有磁性固定装置
  • 适用于笔记本电脑、PCI和PXI中线,与网络兼容
  • 位移测量标准分辨率为1nm,角度测量分辨率为0.01"
  • 使用高温度传感器,系统可达50nm/m
  • 可拓展为6轴测量
  • 外部触发频率为40MHz快速调整也适用于3D
  • 所有3轴实时数据测量,无延时
  • 多可扩展到6轴
  • 小型反射镜
  • 外部触发频率40MHz



上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分: 信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。 所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。

三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) 三角关系的设定
测量结果的统计 在位置5开始测量
位移和角度的完全测量 ISO230数据统计标准


    由本公司代理,德国耶拿尔

JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪,是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不仅能够的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。

资料
系统应用简介.pdf