产品品牌：

aerotech

产品型号：

Xa-1H

测量范围：

进口压力15Mpa出口压力0-0.99 MPa

用途：

其它

结构：

单级式

适用介质：

毒性，腐蚀性，易燃易爆气体，超高纯气体

环境温度：

-10~70 ℃

Xa系列气体减压器，适用于各种流量输出，可选择内部电解抛光面，采用硬密封从而减少外漏情况，特别适用于毒性，腐蚀性，易燃易爆气体以及超高纯气体。膜片结构，调节顺畅，出口也可选择调节阀，超纯水清洗，外漏率低于：1×10^-11Pa.M³/Sec.He，内漏率低于：1×10^-12Pa.M³/Sec.He。Xa系列超精密减压器设计为半导体制造气体专用减压器，在严格的工程品质管理下，于超净环境下制造。