活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
选项 Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp

• 主要特点

• 尺寸 500 x 610 x 640 mm
  重量 45Kg
  类型 手动的
  测量样本大小 ≤ 8", 12"
  测量方法 无连接的
  测量原理 反射计
  特点

  测量迅速，操作简单
  非接触式，非破坏方式
  Print Function of Each View & Data Saving

• 仪器介绍

• 1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，以它突出的表现得到了世界范围的认可。