原位纳米力学测试系统
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产品属性
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| 参数 | NANO系列 |
| 载荷范围 | 400mN(800mN,1600mN可选) |
| 载荷分辨率(理论) | 0.03μN |
| 载荷分辨率(噪声条件) | 1.5μN |
| 深度范围 | 250μm |
| 深度分辨率(理论) | 0.003nm |
| 深度分辨率(噪声条件) | 0.15nm |
| 热飘逸 | <0.05nm/s |
| 摩擦力 | 400mN |
| Sinus 模式分析(DMA) | 20HZ |
| 划痕长度W/Visual inspection | 25mm/90mm |
| 划痕长度W/OVisual inspection | 25mm/ 150mm |
| 划痕速度 | 0-240mm/min |