压力传感器的简介
力/ 压力传感器是支撑工业过程自动化的四大传感器之一。它应用广泛、影响面宽, 不可以测量力和压力, 也可用于测量负荷、加速度、扭矩、位移、流量等其他物理量, 它们都与机械应力有关, 所以把这类传感器称为力学量传感器。传统的测量力的方法是利用弹性元件的形变和位移来表示的, 其特点是成本低、不需要电源, 但体积大、笨重、输出为非电量。后来发现了应变计, 特别是随着电极式水位传感器电子技术发展, 利用半导体材料的压阻效应和弹性与集成电路工艺,研制出了半导体力和压力传感器, 使这类传感器有了长足的进步。普遍应用的有电阻式、压电式、电容式、变磁阻式、光纤式等等。近几年又发展了声表面波压力传感器、磁致伸缩型压力传感器、电位式压力传感器等电气传感器。而且半导体压力传感器正向集成化和智能化方向发展。因为不同类型的力学量传感器所涉及的原理、材料、特性及工艺也各不相同,后面我们将介绍几种应用较广、较典型的力学量传感器。