CS200(A)型数字式气体质量流量控制器
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产品品牌:
SEVENSTAR
产品型号:
CS200-C

高性价比产品,高,多气体多量程,自动调零,量程5sccm-50slm ,橡胶密封,通讯方式:模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet CS200产品技术指标

产品型号 CS200(A)
量程(N2) ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,50)SLM
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
重复 ±0.2% FS
线性 ±0.5% FS
响应时间 ≤1sec
阀类型 Normally Closed or Normally Open
温度系数 Zero: ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃
零点漂移指标 <0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度 25µinch
工作环境温度 (5~45)℃
数字信号接口 RS485
模拟流量输出信号 0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号 0-5V和4-20mA
电源要求 ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
电连接器 D sub 9 pins male,D sub 15 pins male
工作压差范围 (0.05~0.35) Mpa(≤10slm) (0.1~0.35) Mpa(>10slm)
耐压 3MPa
漏率 1×10-9 atm·cc / sec He(1×10-10 Pa·m3 / sec He)
密封材料 氟橡胶Viton,耐氨橡胶Neoprene
接头尺寸 VCR1/4” M; SwagelokΦ3;SwagelokΦ6;Swagelok1/4”;
重量 1kg