产品品牌：

美国mks

产品型号：

1579

mks 1579_数字橡胶密封大流量质量流量控制器 量程范围：            50, 100, 200, 300 slm 输入压力：        100 psig 工作压差：            50, 100 slm 15 to 60 psid;200  slm 25 to 60 psid;300 slm 40 to 60 psid 控制范围：            2 to 100% of F.S. 控制：            ±1% of F.S. 可重复性：            ± 0.2% of F.S. 温度系数（零点）：     < 0.05% of F.S. /°C 温度系数（全程）：     < 0.10% of F.S. /°C 热机时间：            < 30 min 控制设定时间：        < 1 s typical 压力系数：           ± 0.02% of Rdg/psi 操作温度：           15°C to 40°C (59°F to104°F) 设定输入信号：       0 to 5 VDC from < 20 kΩ 输出信号：           0 to 5 VDC into > 10 kΩ 模拟电气接头：        15-pin Type “D” male; Profi bus 2 x 9-pin Type “D” male (analog) and female (Profi bus) 本体材料：      316LS.S.T,Nickel,Viton®;BunaN,Neoprene®,    Kalrez® 氦泄漏率：            < 1 x 10-9 scc/sec He 管道接头：            8 VCR® male;8 VCO® male, DN 16 KF;1/2” Swagelok®, 12 mm Swagelok®;4 VCR® male (for 50 slm only)