D07-19F型高气体质量流量控制器
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产品品牌:
sevenstar
产品型号:
D07-19F

D07-19F型质量流量控制器 24VDC单电源供电,4~20mA输入输出信号 采用DB15型电插头 国际标准机械接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………24VDC,400mA 输入设定电压…………4~20mA(或1~+5VDC) 输出电流检测…………4~20mA                  技术性能指标

满量程流量范围(N2 5SCCM~30SLM
控制范围 2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态) 电磁调节阀(常闭)
准确度 <20SLM ±1%F.S.
20~30SLM ±2%F.S.
线性 <20SLM ±0.5~1%F.S.
20~30SLM ±2%F.S.
重复 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤4sec
工作温度范围 5~45℃
工作压差 ≤10SLM 0.1~0.5MPa
>10SLM 0.1~0.3MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-9SCCSHe
密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式 DB15 pin(Male)
抗电磁干扰 CE
重量 1.8Kg