D07-7K型高性价比气体质量流量控制器
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产品属性
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| 满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM | |
| 控制范围 | 2~100%F.S. | |
| 阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
| 准确度 | ±1%F.S. | |
| 线性 | ±0.5~1%F.S. | |
| 重复 | ±0.2%F.S. | |
| 响应时间 | ≤2sec | |
| 工作温度范围 | 5~45℃ | |
| 工作压差 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
| 密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
| 接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ3hose |
| Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
| 温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
| 重量 | 1.1Kg | |