韩国 LINE TECH 数字式气体质量流量控制器 MD30C
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产品品牌:
韩国 LINE TECH
产品型号:
MD30C

韩国原装进口数字式、高气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。 应用: l 所有工业 l 气体混合及分析 l 注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等) l 半导体工业 l 部件泄露检测 l 产品研究和开发 l 高压行业 l 光纤 l 燃料电池 l 反应器系统 l 气体的混合系统 优势: l 测量质量流量 l 不需要温度、压力补偿 l 紧凑的流量控制系统 l 高(±0.7%F.S l 耐高压(95公斤) l 快速响应时间(<1秒) l 高重复性(±0.25%F.S) l 数字通信:RS-485 规格:

型号 MD30C
流量范围(N2) 0.01~30 slpm
响应时间 2
±0.7%
重复 ±0.25%
输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA 
供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA
工作压力 5~1300 psia
工作温度 0~50
漏率 1×10-9atm.cc/sec
控制范围 2~100%