特长用途规格型号表示方法特形外观尺寸图

压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现精密的压力调整。

高控制

可以实现敏感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高空气压力控制。

优异的特性

具有非常优异的排气特性，压力特性，流量特性。特别是小排气压力(排气敏感度)
为0.03kPa。(有非常优异的理论计算值，张力控制，气动平衡装置的用途是为适用的。)

优异的始动安定性

长时间不动作后，也没有必再调整压力设定。

耐臭氧特性，耐发粉尘特性

为了提高耐臭氧，耐发粉尘的特性，橡胶部品采用了氟橡胶。

排气孔的配备

因为排气孔，溢流孔可以连接排气用配管，排气，溢流空气可以排到外部。适用于半导体，电子器械制造行业。

大幅度的轻量化

本体的材质采用了铝合金铸造，与以往的产品比较实现了大幅度的轻量化。

张力控制

与BF气缸(SC系列)的组合
印刷机械，纸张机械，塑料膜加工机械，纤维机械等。

推压控制

与BF气缸(FC系列)的组合
研磨机械,纸张机械，塑料膜加工机械，纤维机械等

定比减压阀

计量添装装置相关的减压阀控制，等

通过遥控信号来控制出口压力的设定

其他，气动平衡装置，微量空气压力调节装置，泄漏检测仪器，点胶机等用途为适用。

• 缓冲装置
• 平衡装置
• 推压控制(1)
• 推压控制(2)
• 接合装置
• 张力控制装置

※1：设定压力0.02MPa时的排气流量。
※2：因为是溢流型减压阀，时常大气排放。